La Plateforme Ellipsométrie
Elle met à disposition de la communauté scientifique, un parc d’ellipsomètres unique dans le Grand Est de la France.
La conception modulaire de nos instruments permet de s’adapter à différentes configurations de mesure et de coupler efficacement l’ellipsométrie avec d’autres techniques pour réaliser des mesures in-situ.
Le domaine spectral d’étude s’étend aujourd’hui, de l’UV jusqu’à l’infra-rouge lointain (190nm -> 20µm) permettant ainsi, une large gamme de caractérisation de systèmes mono/multi couche(s) tels que :
- épaisseurs (du nm au µm)
- indices optiques (matériaux isotropes ou anisotropes)
- rugosité de surface
- caractérisation in-situ et/ou ex-situ
couvrant ainsi, un large champ d’applications : semiconducteurs, nanomatériaux, polymères, métaux, biologie, électrochimie…
